قياس إهليلجي تقنية بصرية غير مدمرة تقيس خصائص الأسطح والأغشية الرقيقة مثل السماكة وقرينة الانكسار بدقة نانومترية وقيم عشرية صغيرة، وتعتمد على تغيير استقطاب الضوء عند الانعكاس عبر نسبة معاملات الانعكاس للمركبتين p و s المعطاة ρ=rp/rs=tan(Ψ)e^{iΔ}، ويمكن باستخدام تمثيل طيفي استنتاج تركيب المادة وشوائبها وخواصها البلورية والكهربائية وخشونة السطح.