قياس إهليلجي تقنية بصرية غير مدمرة تقيس خصائص الأسطح والأغشية الرقيقة مثل السماكة وقرينة الانكسار بدقة نانومترية وقيم عشرية صغيرة، وتعتمد على تغيير استقطاب الضوء عند الانعكاس عبر نسبة معاملات الانعكاس للمركبتين p و s المعطاة ρ=rp/rs=tan(Ψ)e^{iΔ}، ويمكن باستخدام تمثيل طيفي استنتاج تركيب المادة وشوائبها وخواصها البلورية والكهربائية وخشونة السطح.

من الدفتر
عند انتقال شعاع ضوئي من الهواء إلى الماء ينعكس جزء منه عن السطح وتعتمد الكمية المنعكسة على زاوية السقوط واستقطاب الضوء ومعاملَي الانكسار للوسطين. عند السقوط... الانعكاس الانزلاقي تحويل هندسي في الفضاء الإقليدي يجمع بين انعكاس حول خط ثم انتقال مواز لذلك الخط. يختلف عن الانعكاس البسيط لأنه لا يعيد الشكل إلى موضع... الانكسار في الفيزياء تغير اتجاه موجة عندما تنتقل بين وسطين تختلف فيهما سرعتها، مثل انتقال الضوء من الهواء إلى الماء أو الزجاج. ينحني الشعاع بحسب زاوية سقوطه... التقرير يشرح أن الظاهرة التي يكون فيها اتجاه الشعاع الساقط ومنحنى الانعكاس متناظرين بالنسبة للعمود الساقط تُعرف بقانون الانعكاس أو الانعكاس المرآتي؛ وفق هذا القانون تكون زاوية السقوط مساوية لزاوية الانعكاس بالنسبة للعمود العمودي على سطح الفاصل، ويُستخدم مبدأ التناظر هذا في تفسير سلوك الأشعة الضوئية في المرايا السطحية وتصميم أجهزة البصريات والقياسات البصرية المختلفة. […] عندما يسقط شعاع ضوئي من الهواء إلى الماء يعتمد الجزء المنعكس على زاوية السقوط وعلى مؤشرات انكسار الوسطين وفق معادلات فروينل، فقيمة الانعكاس عند السقوط...