معدل المسار الحر غير المرن مقياس يصف متوسط المسافة λ(E) التي تقطعها إلكترونات أو جسيمات داخل جسم صلب قبل فقدان طاقتها بتفاعلات غير مرنة مثل توليد بلازمونات أو أزواج إلكترون–فجوة أو اهتزازات ذرية، وتتناقص شدة الحزمة I(d) مع العمق d حسب I(d)=I0 e^{-d/λ(E)} بحيث λ(E) تمثل المسافة التي تهبط عندها الشدة إلى 1/e من قيمتها الابتدائية.