الطباعة بالأشعة فوق البنفسجية القصوى تقنية تستخدم ضوءًا بطول موجي قصير جدًا لرسم بعض أدق الطبقات في الرقائق المتقدمة. يسمح الطول الموجي البالغ نحو ١٣.٥ نانومتر بإنتاج أنماط أصغر، وتتطلب التقنية أنظمة بصرية معقدة وبيئة مفرغة لأن هذا الضوء تمتصه المواد والهواء بسهولة.